IT之家 3 月 26 日新闻，克日，中微半导体装备（上海）股份无限公司（以下简称“中微公司”）发布经由过程一直晋升反映台之间气体把持的精度，ICP 双反映台刻蚀机 Primo Twin-Star? 又获得新的冲破，反映台之间的刻蚀精度已到达 0.2A（亚埃级）。据先容，这一刻蚀精度在氧化硅、氮化硅跟多晶硅等薄膜的刻蚀工艺上188体育直播，均失掉了验证。该精度约即是硅原子直径 2.5 埃的非常之一，是人类头发丝均匀直径 100 微米的 500 万分之一。在 200 片硅片的反复性测试中，氧化硅、氮化硅跟多晶硅的测试晶圆，在阁下两个反映台上各 100 片的均匀刻蚀速率相差，各为每分钟 0.9 埃，1.5 埃跟 1.0 埃。两个反映台之间均匀刻蚀速率的差异（≤ 0.09%），远小于一个反映台加工多片晶圆刻蚀速率的差异（≤ 0.9%）。▲?中微公司 ICP 双反映台刻蚀机 Pri188金宝搏在线登录mo Twin-Star?中微公司流露，CC365bet亚洲体育P 的双台机 Primo D-RIE? 跟 Primo AD-RIE? 的加工精度，两个反映台的刻蚀反复性跟在出产线上的反复性也早已到达跟 Primo Twin-Star? 雷同的程度。在两个反映台各轮番加工 1000 片的反复性测试中，两个反映台的均匀刻蚀速率相差，只有每分钟９埃，小于 1.0 纳米。